TOC超純水設備

TOC超純水設備

微電子行業制備超純水流程中，因紫外線技術在超純水高品質要求中不引入新的物質，而得到廣泛應用。

有機物是超純水系統中最難控制的污染，隨著集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰，對超純水中TOC值的要求越來越高，因此，如何配置紫外線，如何確認配置中紫外線設備的有效紫外劑量，進而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯將為您解決這些運營困擾。

185nmUV主要用于去除超純水制備過程中的TOC，使出水滿足美國ASTM超純水水質標準及電子工業部電子級水水質標準。

產品介紹：

EX-UPW-TOC產品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進行降解的可靠系統。通過更高185nm穿透率、實時在線的紫外線強度監測、本地/遠程的智能控制，實現高效、安全可控的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。

產品主要組成：高強度185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內外電解拋光的一體化紫外反應器，高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統組成。

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產品規格：